张师兄在前面引路，带着林飞和苏晚晴穿过一排排仪器和设备，朝着实验室最深处走去。
越往里走，设备的体积似乎越大，噪音也越响。
终于，在实验室的一个角落里，林飞看到了此行的目标人物。
那里摆放着一台极其庞大、结构复杂、充满了各种机械臂、光学镜头、真空管道和电路接口的巨型设备。
它看起来……有点像一台被拆开了外壳、露出了所有内脏和骨骼的超级打印机，或者某种来自科幻电影里的未来装置。
许多地方还能看到手工改装和加固的痕迹，一些非标件明显是自家车铣床加工出来的，带着一种粗犷又硬核的“工程师美学”。
一个身影，正半弯着腰，几乎整个人都趴在了这台庞大机器的一个开口处。
手里拿着一个内窥镜似的带灯光的检测探头，小心翼翼地往里探视着。
他穿着一件洗得发白、甚至沾了些油污的蓝色工装大褂，头发花白，而且和他那些学生一样，显得有些凌乱。
背影看起来并不高大，甚至有点瘦削，但每一个动作都极其稳定和专注。
即使听到有人走近，他也没有立刻回头，只是含糊地嘟囔了一句：“等一下！这个镜组校准有点偏差……老刘，帮我看着点干涉仪读数！”
他显然把林飞他们当成了自己的学生。
旁边一个同样穿着工装、年纪稍长、被称作老刘的副教授模样的人，抬头看到了林飞和苏晚晴。
尤其是气质出众的林飞，愣了一下，连忙轻轻碰了碰那位趴着的老者：“老傅，傅教授！人来了！”
那位老者——傅国生教授，这才有些不情愿地、慢吞吞地直起身，转了过来。
林飞终于看清了他的正脸。
傅教授大约六十岁左右的年纪，面容清瘦，额头和眼角布满了深深的皱纹。
看上去比实际年龄要苍老一些，显然是常年熬夜和殚精竭虑的结果。
但他的那双眼睛，却异常明亮、锐利，充满了智慧的光芒和一种近乎偏执的专注感。
仿佛能穿透一切表象，直抵问题的核心。
他的鼻梁上架着一副老花镜，镜腿上还缠着白色的胶布。
他脸上带着被打断工作的些许不耐，但当他的目光落在林飞身上时，那不耐迅速转化为了一种审视和疑惑。
他上下打量了林飞一番，眉头微微皱起，显然在判断来人的身份和目的。
“傅老师，”苏晚晴赶紧上前一步，恭敬地介绍道，“这位是林飞林总，是学校的重要合作方，专门来拜访您的。”
傅国生教授闻言，花白的眉毛挑了一下，眼神中的疑惑更浓了，他用沾着点油污的手推了推眼镜，声音带着点沙哑和实验室里待久了的干涩：
“林总？合作方？搞投资的？我们这儿不拉赞助，也没东西可展览。要是没事，就别耽误我们干活。”
语气直接，甚至有点冲，毫不客气地下达了逐客令。
典型的学者式直率，或者说……不通人情世故。
旁边的刘副教授一脸尴尬，赶紧打圆场：“老傅！怎么说话呢！这位林总肯定是……”
林飞却笑了，他非但没有生气，反而对这位耿直的老教授好感大增。
他就喜欢跟这种一心扑在技术上、懒得玩虚的人打交道。
他上前一步，无视了傅教授那“生人勿近”的气场，目光落在那台庞大的机器上，眼神里充满了 好奇和赞叹，开口问出的第一句话，就让傅国生教授愣住了：
“傅教授，您这是在调试……EUV光源的收集镜吗？听说多层膜镜面的热变形和污染控制是业界难题，您用的这是……主动冷却加上原位清洁的方案？”
林飞的声音不高，语气平和，但每一个专业名词都像小锤子一样，精准地敲在了傅国生的专业领域核心点上！
EUV光源！收集镜！多层膜！热变形！污染控制！主动冷却！原位清洁！
这几个词从一个穿着休闲装、看起来像个时尚博主或者年轻总裁的“外人”嘴里蹦出来，效果堪比在菜市场听到有人用流利的拉丁文讨论量子力学！
傅国生教授那原本写满“不耐烦”和“送客”的脸，瞬间僵住了。
他推了推滑到鼻梁中间的眼镜，镜片后那双锐利的眼睛第一次真正聚焦在林飞脸上，充满了难以置信的惊愕。
这小子……怎么会知道这些？
EUV？这可不是什么大众科普知识！
还有收集镜的热变形和污染……这更是行业内顶尖团队才会头疼到掉头发的核心难题！
他怎么会……？
愣了好几秒，傅教授才从喉咙里挤出一句，带着浓浓的怀疑和试探：“你……你怎么知道EUV？还知道收集镜？你看过相关论文？”
他的潜台词是：你小子是不是提前做了功课，背了几个名词来我这装大尾巴狼？
林飞笑了笑，那笑容轻松自然，完全没有被质疑的窘迫。
他不仅没回避，反而顺着傅教授的话，往更深处走了一步。
“论文看过一些，ASmL和ImEc的技术报告也略有涉猎。不过纸上谈兵终觉浅，我更好奇傅教授您这边的实践方案。”
“比如，您这套主动冷却系统，是针对镜面基底的热膨胀系数做的梯度材料设计吗？”
“还有原位清洁，是用低能离子束还是脉冲激光？对膜层的损伤阈值怎么控制？”
好家伙！这一连串问题，不仅接住了傅教授的试探，还反手抛出了更具体、更硬核的技术细节！
梯度材料设计？低能离子束？脉冲激光？损伤阈值？
这已经不是背名词了，这简直像是在参加一场顶尖的光学工程研讨会！
傅国生教授的眼睛瞬间瞪大了一圈！脸上的怀疑被巨大的惊讶取代！
这年轻人……不简单！绝对不简单！
能问出这些问题，说明他对EUV光刻的技术难点和可能的解决方案有相当深入的思考！
这绝不是临时抱佛脚能装出来的！
傅教授心里那点“资本家不懂技术”的偏见，开始动摇了。
他收起了一丝轻视，语气虽然还带着点学术大佬的倨傲，但已经不再是纯粹的拒人千里之外了。
“哼，梯度材料成本太高，工艺也复杂。我们用的是多层复合结构，结合微流道主动液冷，成本可控，散热效率也够用。原位清洁嘛……”
他顿了顿，似乎有点得意于自己的独创，“我们没用离子束也没用激光，那玩意儿太娇贵，容易伤镜子。我们搞了一套低压等离子体辅助的热解吸装置，效果不错，就是参数调起来麻烦点。”
越往里走，设备的体积似乎越大，噪音也越响。
终于，在实验室的一个角落里，林飞看到了此行的目标人物。
那里摆放着一台极其庞大、结构复杂、充满了各种机械臂、光学镜头、真空管道和电路接口的巨型设备。
它看起来……有点像一台被拆开了外壳、露出了所有内脏和骨骼的超级打印机，或者某种来自科幻电影里的未来装置。
许多地方还能看到手工改装和加固的痕迹，一些非标件明显是自家车铣床加工出来的，带着一种粗犷又硬核的“工程师美学”。
一个身影，正半弯着腰，几乎整个人都趴在了这台庞大机器的一个开口处。
手里拿着一个内窥镜似的带灯光的检测探头，小心翼翼地往里探视着。
他穿着一件洗得发白、甚至沾了些油污的蓝色工装大褂，头发花白，而且和他那些学生一样，显得有些凌乱。
背影看起来并不高大，甚至有点瘦削，但每一个动作都极其稳定和专注。
即使听到有人走近，他也没有立刻回头，只是含糊地嘟囔了一句：“等一下！这个镜组校准有点偏差……老刘，帮我看着点干涉仪读数！”
他显然把林飞他们当成了自己的学生。
旁边一个同样穿着工装、年纪稍长、被称作老刘的副教授模样的人，抬头看到了林飞和苏晚晴。
尤其是气质出众的林飞，愣了一下，连忙轻轻碰了碰那位趴着的老者：“老傅，傅教授！人来了！”
那位老者——傅国生教授，这才有些不情愿地、慢吞吞地直起身，转了过来。
林飞终于看清了他的正脸。
傅教授大约六十岁左右的年纪，面容清瘦，额头和眼角布满了深深的皱纹。
看上去比实际年龄要苍老一些，显然是常年熬夜和殚精竭虑的结果。
但他的那双眼睛，却异常明亮、锐利，充满了智慧的光芒和一种近乎偏执的专注感。
仿佛能穿透一切表象，直抵问题的核心。
他的鼻梁上架着一副老花镜，镜腿上还缠着白色的胶布。
他脸上带着被打断工作的些许不耐，但当他的目光落在林飞身上时，那不耐迅速转化为了一种审视和疑惑。
他上下打量了林飞一番，眉头微微皱起，显然在判断来人的身份和目的。
“傅老师，”苏晚晴赶紧上前一步，恭敬地介绍道，“这位是林飞林总，是学校的重要合作方，专门来拜访您的。”
傅国生教授闻言，花白的眉毛挑了一下，眼神中的疑惑更浓了，他用沾着点油污的手推了推眼镜，声音带着点沙哑和实验室里待久了的干涩：
“林总？合作方？搞投资的？我们这儿不拉赞助，也没东西可展览。要是没事，就别耽误我们干活。”
语气直接，甚至有点冲，毫不客气地下达了逐客令。
典型的学者式直率，或者说……不通人情世故。
旁边的刘副教授一脸尴尬，赶紧打圆场：“老傅！怎么说话呢！这位林总肯定是……”
林飞却笑了，他非但没有生气，反而对这位耿直的老教授好感大增。
他就喜欢跟这种一心扑在技术上、懒得玩虚的人打交道。
他上前一步，无视了傅教授那“生人勿近”的气场，目光落在那台庞大的机器上，眼神里充满了 好奇和赞叹，开口问出的第一句话，就让傅国生教授愣住了：
“傅教授，您这是在调试……EUV光源的收集镜吗？听说多层膜镜面的热变形和污染控制是业界难题，您用的这是……主动冷却加上原位清洁的方案？”
林飞的声音不高，语气平和，但每一个专业名词都像小锤子一样，精准地敲在了傅国生的专业领域核心点上！
EUV光源！收集镜！多层膜！热变形！污染控制！主动冷却！原位清洁！
这几个词从一个穿着休闲装、看起来像个时尚博主或者年轻总裁的“外人”嘴里蹦出来，效果堪比在菜市场听到有人用流利的拉丁文讨论量子力学！
傅国生教授那原本写满“不耐烦”和“送客”的脸，瞬间僵住了。
他推了推滑到鼻梁中间的眼镜，镜片后那双锐利的眼睛第一次真正聚焦在林飞脸上，充满了难以置信的惊愕。
这小子……怎么会知道这些？
EUV？这可不是什么大众科普知识！
还有收集镜的热变形和污染……这更是行业内顶尖团队才会头疼到掉头发的核心难题！
他怎么会……？
愣了好几秒，傅教授才从喉咙里挤出一句，带着浓浓的怀疑和试探：“你……你怎么知道EUV？还知道收集镜？你看过相关论文？”
他的潜台词是：你小子是不是提前做了功课，背了几个名词来我这装大尾巴狼？
林飞笑了笑，那笑容轻松自然，完全没有被质疑的窘迫。
他不仅没回避，反而顺着傅教授的话，往更深处走了一步。
“论文看过一些，ASmL和ImEc的技术报告也略有涉猎。不过纸上谈兵终觉浅，我更好奇傅教授您这边的实践方案。”
“比如，您这套主动冷却系统，是针对镜面基底的热膨胀系数做的梯度材料设计吗？”
“还有原位清洁，是用低能离子束还是脉冲激光？对膜层的损伤阈值怎么控制？”
好家伙！这一连串问题，不仅接住了傅教授的试探，还反手抛出了更具体、更硬核的技术细节！
梯度材料设计？低能离子束？脉冲激光？损伤阈值？
这已经不是背名词了，这简直像是在参加一场顶尖的光学工程研讨会！
傅国生教授的眼睛瞬间瞪大了一圈！脸上的怀疑被巨大的惊讶取代！
这年轻人……不简单！绝对不简单！
能问出这些问题，说明他对EUV光刻的技术难点和可能的解决方案有相当深入的思考！
这绝不是临时抱佛脚能装出来的！
傅教授心里那点“资本家不懂技术”的偏见，开始动摇了。
他收起了一丝轻视，语气虽然还带着点学术大佬的倨傲，但已经不再是纯粹的拒人千里之外了。
“哼，梯度材料成本太高，工艺也复杂。我们用的是多层复合结构，结合微流道主动液冷，成本可控，散热效率也够用。原位清洁嘛……”
他顿了顿，似乎有点得意于自己的独创，“我们没用离子束也没用激光，那玩意儿太娇贵，容易伤镜子。我们搞了一套低压等离子体辅助的热解吸装置，效果不错，就是参数调起来麻烦点。”