第115章 光刻机的诞生-《重生1982工业黑科技制霸全球》

  法国人的效率,比何维想象的还要高。

  在“波分复用”这个巨大的未来蛋糕面前,阿尔卡特公司的董事会,几乎没有进行过多的挣扎。

  他们非常清楚,与何维手里的“刀尖”相比,他们那个所谓的“真空技术部”,就像一个随时可能被时代淘汰的古董。

  用一个“古董”,换取未来整个欧洲光通信市场的主导权,这笔交易,无论怎么算,都是血赚。

  一周后,一份由双方律师共同起草的长达上百页的合作协议,就被火速送到了何维的办公桌上。

  【中法真空与磁悬浮技术应用研究中心】

  这个听上去平平无奇的合资公司,在京郊的另一片,由何维基金会买下的土地上正式挂牌成立。

  法方,以全套的“超高真空分子泵”和“磁悬浮无摩擦转子”技术,以及十几名核心工程师的常驻指导,作为技术入股。

  中方,则提供资金、厂房和配套人员。

  作为回报,何维的红旗精密光谱公司,向阿尔卡特公司独家授权半导体激光器在欧洲光通信市场上的所有应用专利。

  这纸协议的签订,在当时的国际科技界,并没有引起太大的波澜。

  所有人都以为,这只是一次正常的中法两国技术合作。

  没有人知道,这场看似平等的国际合作背后,何维才是最大的赢家。

  更没有人知道,这个新成立的研究中心,它真正的也是唯一的使命,并不是为阿尔卡特公司的通信设备做配套。

  它的使命,是为远在几千里外的,西北戈壁里,那台正在被艰难逆向的光刻机,打造出它最核心,也最精密的运动系统。

  半年后,第一批由法国工程师亲自指导,中国工人生产出来的精度达到亚微米级别的气浮轴承和超精密导轨,从京郊的合资工厂里下线,被军用专机火速运抵西北基地。

  钱立群和那些为了工件台难题,熬白了头发的老专家们,看着眼前这些闪烁着迷人金属光芒的气浮轴承和超精密导轨。

  激动得热泪盈眶。

  那只横亘在中国芯片产业面前,最大的“拦路虎”,终于被何维这个年轻人,用一种他们想都不敢想的,匪夷所思的方式,硬生生地搬走了。

  剩下的,只有最后一道,也是最坚硬的壁垒。

  那个代表着人类光学工程巅峰的蔡司镜头组。

  这个问题,比工件台更棘手。

  因为它几乎没有任何捷径可走。

  它需要最顶级的高纯度石英玻璃原料,需要最变态的超精密非球面研磨工艺。

  它更需要,那如同玄学一般,至今无人能破解的多层增透减反的复合镀膜技术。

  这三座大山,任何一座,都足以让当时的中国光学工业望而却步。

  何维再次将自己,关进了那个如同飞机库般大小的恒温厂房里。

  这一次,他身边的人,换成了另一批。

  他们是从长春光机所和中科院物理所里,请来的国内最顶尖的光学泰斗。

  他们对着那套,已经被他们拆解和研究了无数遍的蔡司镜头组,一遍又一遍地,进行着各种分析和推演。

  但每一次,得到的结果,都是令人沮丧的。

  “何总工,不行。”一位头发花白的老院士,摇着头,满脸的无奈,“我们国内能生产的,最好的K9光学玻璃,里面的杂质含量,是蔡司玻璃的上百倍。用这种玻璃,别说造光刻机镜头了,造个高级点的望远镜都费劲。”

  另一位负责研磨工艺的专家也叹气道:“我们最好的五轴研磨机床,加工的精度极限,也只能达到0.1微米。而蔡司的这个非球面镜片,它的面型误差,至少在10纳米以下。这……这根本不是一个数量级的工艺。”

  整个项目,再一次陷入了僵局。

  这最后一座大山,似乎真的成了一道无法逾越的天堑。

  何维看着那些愁眉不展的专家们,脸上露出了胸有成竹的笑容。

  “各位老师,各位前辈。”他把众人,召集到了一起。

  “我承认,在传统的光学玻璃和研磨工艺上,我们和德国人,确实还存在着几十年的巨大差距。这种差距,不是我们一朝一夕能够追上的。”

  “但是,”他话锋一转,眼中闪烁着颠覆性的智慧光芒。

  “谁说镜头就一定要用玻璃来磨呢?”

  “什么?”

  这句话,让在场的所有光学专家,都愣住了。

  不用玻璃磨镜头,那用什么?

  “我们为什么,不能换一种思路。”何维走到白板前,画出了一个所有人都看不懂的结构图。

  “我们不用玻璃,我们用液体。”

  液体镜头?

  这四个字,像一声惊雷,在所有专家的脑海里炸响。

  他们听不懂,也无法理解。

  “各位请看。”何维没有理会他们的震惊,他指着白板上的图纸,开始阐述他那个,来自未来几十年的疯狂构想。

  “这是一种,基于‘浸没式光刻’和‘液体透镜’技术的光刻物镜系统。”

  “我们不再需要,去追求镜片本身那极致的光滑和曲率。我们可以,在两片普通的加工精度相对较低的镜片之间,注入一种特定折射率的高纯度去离子水,或者某种氟化液体。”

  “然后,我们通过改变这两片镜片之间的距离,和施加在液体上的微小压力,来动态地精准地,改变这个‘液体透镜’的焦距和曲率。”

  他停顿了一下,给众人留下消化和理解的时间。

  “这样做,有三个巨大的好处。”

  “第一,液体的表面张力,会让它的表面形成一个比任何研磨工艺都要完美的光滑球面。这就从根本上,解决了我们研磨精度不够的问题。”

  “第二,我们可以通过更换不同折射率的液体,来轻松地实现对不同波长光线的聚焦。这为我们未来,使用波长更短的‘深紫外光源’,留下了无限的升级空间。”

  “第三,也是最重要的。”何维的眼中,闪烁着一种,近乎“作弊”般的,狡黠的光芒。

  “这种‘液体透镜’,对镜片本身的材料要求并不高。我们甚至,可以用更高折射率的蓝宝石,或者氟化钙晶体,来替代昂贵的光学玻璃。”

  “而这两种东西,”他笑了笑,“我们自己的实验室,已经可以小规模地拉制出来了。”

  整个白板前一片死寂。

  所有国内顶尖的光学泰斗们,都像一群小学生一样,呆呆地看着何维画出的那个,他们从未想象过的,充满了奇思妙想的“液体镜头”。

  他们的大脑,被这种完全颠覆了传统光学理论的,降维打击般的思路,给冲击得一片空白。

  他们第一次发现,原来困扰了他们一辈子的,那些如同天堑般的难题,竟然可以被如此轻巧、如此优雅的方式直接绕过去。

  那位之前还唉声叹气的老院士,颤抖着走上前。

  他用那双布满老茧的手,轻轻地抚摸着白板上,那条代表着“液体”的曲线。

  他的眼中充满了泪水。

  “天才……”他喃喃自语,“这才是,真正的,跨越时代的天才构想……”

  接下来的几个月。

  整个西北基地的光学实验室,彻底疯了。

  那些平均年龄超过六十岁的老专家们,像一群重新找到了信仰的年轻人,爆发出了一种令人难以想象的工作热情。

  他们把家都搬到了实验室,夜以继日,不眠不休。

  他们废寝忘食,对何维提出的那种“浸没式液体镜头”方案,进行着疯狂的验证和实验。

  他们失败了无数次,损毁了十几套价值上百万的昂贵测试设备,何维对此淡然一笑,大笔一挥,基金会立刻又给他们添了几十套。

  这些国宝级的专家们,锲而不舍,百折不挠,因为每一个人都无比清晰地看到了那条通往山顶的光明道路。

  终于,在1986年的冬天。

  当金沟镇的第一场雪,悄然落下的时候。

  光学实验室里,爆发出了一阵,足以掀翻屋顶的雷鸣般的欢呼。

  第一组完全由中国自主设计,自主制造的浸没式光刻物镜的实验样机,成功地在硅片上投射出了清晰的宽度小于一微米的测试线条!

  虽然,这距离真正的芯片制造,还有很长的路要走。

  但这是第一步。

  是从“零”到“一”的伟大的第一步。

  当这个消息,传到何维的耳朵里时。

  他只是平静地,点了点头。

  然后,他拿起了电话,拨通了京城半导体实验室的号码。

  “钱老,陈老。”

  “让那台被拆散的光刻机,开始重新组装吧。”

  他的声音,沉稳,而又充满了力量。

  “所有的零件,都已经到齐了。”

  “现在是时候,让它在我们自己的土地上,以一种全新的姿态重新站立起来了。”